专利名称：剥离发光组件衬底的方法和装置专利类型：发明专利发明人：谭振贤
申请号：CN201510351120.0申请日：20150619公开号：CN104979438A公开日：20151014
摘要：本发明提供了一种剥离发光组件衬底的方法和装置，包括：提供待剥离的发光组件，所述发光组件包括第一衬底、位于所述第一衬底一侧的氮化镓外延层和金属衬底，所述氮化镓外延层包括N型氮化镓层、有源层和P型氮化镓层；采用激光发生器对所述第一衬底进行激光剥离，其中，所述激发发生器出射激光的路径上具有孔径光阑，以通过所述孔径光阑来调整所述激光的光斑大小，进而可以采用尽可能小的光斑进行激光剥离，使得局部产生的氮化物较少，以提高衬底剥离的良率。
申请人：佛山市国星半导体技术有限公司
地址：528226 广东省佛山市南海区罗村朗沙新光源产业基地内光明大道18号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：王宝筠
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