专利名称：用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器专利类型：发明专利
发明人：许斌,赵世平,陈伟,唐海容,刘乾乾申请号：CN201510071455.7申请日：20150211公开号：CN104713496A公开日：20150617
摘要：本发明为用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器。包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置。其中触针安装在悬浮式探杆下端，探杆为磁体，探杆设置在探头支承座内并与探头支承座间留有间隙，探头支承座为电磁铁。读数传感器与测量探头对应。设置有信号处理控制装置分别与读数传感器及探头支承座连接。本发明利用磁悬浮支承座和探杆间的磁力作用将探杆和触针悬浮，彻底改变了传统的机械固定接触式探杆安装方法，保证探杆和触针的高顺应性，使探杆只能在垂直于工件表面方向作直线运动，从本质抛掉了传统传感器的非线性误差，大大提高测量精度，扩大了传感器的测量范围，适应了精密加工技术的发展，更好地满足工业测量需要。
申请人：四川大学
地址：610000 四川省成都市一环路南一段24号
国籍：CN
代理机构：东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人：刘汉民
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