专利名称：掩模板清洗器专利类型：实用新型专利发明人：唐军
申请号：CN201320507563.0申请日：20130811公开号：CN203417881U公开日：20140205
摘要：本实用新型涉及一种掩模板清洗器，包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，清洗槽设置有用于冷却清洗液的冷却管，掩模板浸泡于清洗液中；漂洗槽内盛装有漂洗液，掩模板清洗后，浸渍于漂洗液中漂洗；干燥装置用于将漂洗后的掩模板风干。本实用新型可以有效减少清洗液的损耗，从而降低清洗成本。而且，在清洗的过程中，本实用新型采用机械手对掩模板进行转运，可实现清洗过程的连续化和自动化控制，提高了清洗效率，并进一步降低了清洗成本。
申请人：唐军
地址：518101 广东省深圳市宝安区沙井和一村蚝一西部工业区A12栋3楼
国籍：CN
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