专利名称：多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤
装置
专利类型：实用新型专利发明人：任向东,鲍家兴,左云翔申请号：CN200820215103.X申请日：20081205公开号：CN201326036Y公开日：20091014
摘要：本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置，所述装置包括石英坩埚(1)、洁净烘箱(2)、真空泵(3)、真空计(4)、加热棒(5)、阀门(6)、管路(7)和Ar气站(8)，所述石英坩埚(1)置于密闭的洁净烘箱(2)内，所述洁净烘箱(2)与真空泵(3)相连，洁净烘箱(2)上安装真空计(4)，洁净烘箱(2)内设置有加热棒(5)，洁净烘箱(2)通过管路(7)与Ar气站(8)相连，管路(7)上设有阀门(6)。采用本实用新型装置烘烤石英坩埚的氮化硅膜合理、洁净和经济。
申请人：江阴海润太阳能电力有限公司
地址：214408 江苏省江阴市霞客镇璜塘工业园区6号
国籍：CN
代理机构：江阴市同盛专利事务所
代理人：唐纫兰
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