专利名称：一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器专利类型：发明专利
发明人：徐小川,李婉欣,陈佳欣,孙云旭申请号：CN202010736844.8申请日：20200728公开号：CN111751327A公开日：20201009
摘要：本发明提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本发明技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
申请人：哈尔滨工业大学(深圳)
地址：518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
国籍：CN
代理机构：深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：黎健任
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容