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半导体芯片上的电感的结构及其制造方法[发明专利]

来源:帮我找美食网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:半导体芯片上的电感的结构及其制造方法专利类型:发明专利发明人:凌沛清(音译)申请号:CN96121645.X申请日:19961115公开号:CN1182964A公开日:19980527

摘要:本发明公开了一种电感电路。该电感电路是在包括衬底层和介质层的半导体芯片上制作的。该电感电路包括被介质层包围的、由高磁敏感的材料(HMSM)构成的电感铁芯。包围电感铁芯的介质层又被导电线环绕,所说导电线包括下导电线、在穿过包围介质层的‘通路’中的导电线和上导电线。利用IC工艺使所说导电线构图。于是电感铁芯、包围电感铁芯的介质层、和环绕导电线构成电感电路,电感电路形成于包括衬底层和介质层的半导体芯片上。

申请人:凌沛清(音译)

地址:美国加利福尼亚

国籍:US

代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人:王以平

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