专利名称：一种非接触式微电子探针探测显微成像集成系统专利类型：发明专利发明人：张佩佩
申请号：CN201710211428.4申请日：20170331公开号：CN108666191A公开日：20181016
摘要：本发明涉及一种非接触式电子探针探测显微镜成像集成系统，所述显微镜成像集成系统包括电子源系统，刻蚀用离子源系统，高压电源系统，电子光学系统，离子束偏转系统，电子束偏转系统，静电透镜系统，磁透镜驱动系统，真空系统，样品台系统，探测器系统，数据采集系统和图像重建系统，所述电子源系统包含灯丝室、灯丝座、发叉式钨灯丝和三极式静电透镜，所述灯丝座设置有可调节装置。所述显微镜成像集成系统在芯片工作过程中对某个区域进行实时显微测量，从而对芯片的某个具体工作模块实现实时监控并分析其微系统功能，为微电子芯片设计人员提供了一种有效的设计纠错分析手段。
申请人：上海北京大学微电子研究院
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区盛夏路608号1号楼
国籍：CN
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