专利名称：一种垂直腔面激光器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：姜勋财,王任凡,汤宝,罗飙,余兵,朱拓,吴振华申请号：CN201710113863.3申请日：20170228公开号：CN106654856A公开日：20170510
摘要：本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。
申请人：武汉光迅科技股份有限公司,武汉电信器件有限公司
地址：430074 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
国籍：CN
代理机构：深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：何婷
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