专利名称：一种直拉法制备硅单晶用单晶炉专利类型：发明专利发明人：康林科
申请号：CN202010522552.4申请日：20200610公开号：CN111778549A公开日：20201016
摘要：本发明涉及硅片制备技术领域，且公开了一种直拉法制备硅单晶用单晶炉，包括炉体，炉体顶部开设有炉口，炉体底部开设有排气口，炉体内腔的顶部活动安装有导流筒，炉体内部在排气口顶部通过支撑轴固定连接有石墨坩埚，石墨坩埚的内部固定安装有石英坩埚，所述炉体内壁位于炉口与导流筒之间固定安装有升降控制环，所述导流筒顶部靠近外侧处呈环状均匀固定安装有滑杆，所述导流筒与升降控制环之间通过滑杆活动连接，所述导流筒的底部呈环状均匀固定连接有波纹管，所述导流筒的顶面呈环状均匀固定安装有气压调节装置，所述波纹管的底部活动套接有固定滑轴，该单晶炉受热均匀，等径质量高，安全稳定。
申请人：康林科
地址：721000 陕西省宝鸡市扶风县城关镇殷家村庄75号
国籍：CN
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