专利名称：氧化铟锡靶材的制备方法专利类型：发明专利发明人：章波,郭元
申请号：CN201810753570.6申请日：20180710公开号：CN108585832A公开日：20180928
摘要：本发明提出了一种氧化铟锡靶材的制备方法，包括以下步骤：1)预混液制备：将分散剂和粘结剂加入水中，搅拌均匀，然后用pH调节剂调节pH值至8～10，得预混液；2)悬浮浆料的制备：向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结助剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由氧化镨、导电炭黑和NbO组成；3)注浆后坯体成型：把铝制模装在石膏板上，将步骤2)所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得ITO坯体；4)烧结。该方法过程容易控制，降低了烧结温度促进致密化的同时提升了电性能，烧结出的靶材成分更均匀，电阻率低、相对密度高。
申请人：芜湖市元奎新材料科技有限公司
地址：238300 安徽省芜湖市无为县蜀山镇百胜社区
国籍：CN
代理机构：北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：苏友娟
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