专利名称:铟锡氧化物靶材的制备方法专利类型:发明专利
发明人:龚鸣明,刘朗明,肖卫军,彭小苏申请号:CN03118371.9申请日:20030510公开号:CN1453392A公开日:20031105
摘要:本发明涉及一种铟锡氧化物靶材的制备方法,包括铟锡混合盐溶液的制备、溶液的均相共沉淀、沉淀物的煅烧、氧化物脱氧、冷等静压、热等静压等步骤,其特征在于:所述的均相共沉淀的添加剂为柠檬酸或酒石酸;煅烧是将沉淀物在温度400-1200℃、氧气浓度22-35%的条件下,于隧道窑中进行;脱氧是在温度300-600℃,氢气流量1-3立方米/小时,反应时间15-60分钟,脱氧率控制6-20%的管式炉中进行;冷等静压二次成型的压力和保压时间分别是80-120MPa、1-5分钟和150-200MPa、5-10分钟;热等静压是将坯件置于具有隔离材料的包套中,在热等静压机中进行烧结。本发明主要用于液晶显示。
申请人:株洲冶炼集团有限责任公司
地址:412004 湖南省株洲市石峰区清水塘
国籍:CN
代理机构:株洲市长江专利事务所
代理人:刘国鼎
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