专利名称：二氧化钛负载氧化铈抛光粉的制备方法专利类型：发明专利
发明人：李永绣,项神佑,周新木,李静,周雪珍,李东平,刘艳珠申请号：CN201310004064.4申请日：20130107公开号：CN103205237A公开日：20130717
摘要：一种二氧化钛负载氧化铈抛光粉的制备方法，是将二氧化钛粉体加入到含分散剂的去离子水中，固体浓度为100～200g/l，用氢氧化钠稀溶液调节pH值在9.5~11.5范围，超声分散1～30min，得到悬浮性能良好的浆料。在50℃~90℃和搅拌条件下，往该浆料中加入硝酸铈溶液，其加量按所含氧化铈与二氧化钛的重量比1～10：100计算，搅拌均匀后老化10-30min，继续加入氢氧化钠稀溶液调节pH值在6.0~10.0范围，再次老化10～30min，使铈离子水解沉积在二氧化钛颗粒表面；抽虑、洗涤，在110℃干燥1～24h，磨细后置于马弗炉中于400～700℃下煅烧2h，取出后磨细，得到所需的二氧化钛负载氧化铈抛光粉。本发明的制备方法简单方便，价格低廉，对硅片表面抛光的速度高和精度高。
申请人：南昌大学
地址：330031 江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号
国籍：CN
代理机构：南昌市平凡知识产权代理事务所
代理人：夏材祥
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