多晶硅锭及其制造装置、制造方法和用途[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：多晶硅锭及其制造装置、制造方法和用途专利类型：发明专利

发明人：大石隆一,梶本公彦,上野和也申请号：CN201280059055.9申请日：20120907公开号：CN103974904A公开日：20140806

摘要：本发明提供一种能够制造大尺寸、高质量且SiC夹杂物较少的多晶硅锭的多晶硅锭制造装置，所述多晶硅锭制造装置具备：具有上方开口部的坩埚；设置在所述坩埚外周并加热熔融容纳在坩埚内的硅原料的加热部；使所述坩埚和所述加热部在竖直方向上相对移动的移动机构(movementmechanism)；具有非活性气体导入孔、且覆盖所述坩埚的上方开口部以使其能打开/闭合的盖子；以及用于将非活性气体导入至所述非活性气体导入孔的非活性气体导入管道。

申请人：夏普株式会社

地址：日本大阪府

国籍：JP

代理机构：北京市柳沈律师事务所

代理人：宋莉

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