专利名称：一种单晶硅棒切片装置专利类型：实用新型专利
发明人：朱文志,李波,林冬,黄田玉,林孝狮,汤文博,林光展申请号：CN201820710729.1申请日：20180514公开号：CN208645714U公开日：20190326
摘要：本实用新型涉及一种单晶硅棒切片装置，包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构；工作台上具有线锯让位槽，线锯让位槽自工作台顶面向下开设；手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘，万向支臂一端与磁性表座连接，万向支臂的另一端与切片吸盘连接，手工取片工装位于工作台上，切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面；线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。在本装置中手工取片工装，装夹待切割单晶硅片，装夹效率高，单晶硅片的吸附稳定可靠，操作简单。
申请人：福州天瑞线锯科技有限公司
地址：350100 福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
国籍：CN
代理机构：福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
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