*CN102653859A*
(10)申请公布号 CN 102653859 A(43)申请公布日 2012.09.05
(12)发明专利申请
(21)申请号 201210143212.6(22)申请日 2012.05.10
(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研
究所
地址410111 湖南省长沙市天心区新开铺路
1025号(72)发明人王慧勇 魏唯 吕文利
(74)专利代理机构长沙正奇专利事务所有限责
任公司 43113
代理人马强(51)Int.Cl.
C23C 16/44(2006.01)H01L 21/677(2006.01)
权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 3 页权利要求书1页 说明书3页 附图3页
(54)发明名称
一种石墨舟自动装卸片升降传递装置(57)摘要
本发明涉及一种用于PECVD石墨舟自动装卸片的升降传递装置，包括竖直放置的框架和用于暂存硅片的中转片盒，所述框架正面安装可带动片盒上下滑动的片盒升降机构，所述框架的一侧设有可带动中转片盒上下滑动的硅片中转机构，并在硅片中转机构的一侧设有可在片盒升降机构和硅片中转机构中水平传递片盒的硅片传递机构；所述片盒升降机构、硅片中转机构和硅片传递机构构成第一组升降传递装置，并在框架的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置。使用本发明的整套升降传递装置可快速、准确实现硅片从片盒卸出和装入片盒，PECVD工序后石墨舟无需人工装卸片，降低了劳动强度与人工成本，提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。
CN 102653859 ACN 102653859 A
权 利 要 求 书
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1.一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，包括竖直放置的框架（1）和用于暂存硅片的中转片盒（10），其特征是，所述框架（1）正面安装可带动片盒（5）上下滑动的片盒升降机构（2），所述框架（1）的一侧设有可带动中转片盒（10）上下滑动的硅片中转机构（7），并在硅片中转机构（7）的一侧设有可在片盒升降机构（2）和硅片中转机构（7）中水平传递片盒的硅片传递机构（8）；所述片盒升降机构（2）、硅片中转机构（7）和硅片传递机构（8）构成第一组升降传递装置，并在框架（1）的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置；所述各组升降传递装置中的片盒升降机构（2）、硅片中转机构（7）和硅片传递机构（8）的硅片中心位一致。
2.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述片盒升降机构包括由电机（12）驱动的输送机（3）、检测片盒（5）位置的A光电开关、支撑底板、升降气缸（4）和用于固定片盒（5）的定位气缸（6），所述A光电开关安装在片盒（5）的下挡框上，支撑底板位于片盒（5）底部并在升降气缸（4）的作用下推动片盒（5）升降，升降气缸（4）和定位气缸（6）分别置于片盒（5）的底部和顶部。
3.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述硅片中转机构包括由电机（11）驱动的上下来回传动的传送带、中转片盒（10）和检测硅片到位的B光电开关，所述传送带与中转片盒（10）通过齿形板直接相连，在电机（11）的驱动下中转片盒（10）上下来回移动，B光电开关安装在中转片盒（10）上板或下板边缘。
4.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片升降传递装置，其特征是，所述硅片传递机构包括电动滑台（9）、支架和若干个吸盘，所述电动滑台（9）通过支架固定，电动滑台（9）上的取片板可在片盒升降机构（2）的片盒（5）与硅片中转机构（7）的中转片盒（10）之间水平来回滑动，所述吸盘成三角布局安装于取片板靠近片盒的一侧。
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说 明 书
一种石墨舟自动装卸片升降传递装置
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技术领域
本发明涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种用于PECVD石墨舟自动装卸片的
升降传递装置。
[0001]
背景技术
在晶体硅太阳能电池生产过程中，都需在硅片表面制备一层减反射膜，现在常用
的工艺是用PECVD在硅片表面生长一层氮化硅膜。PECVD工序完成后需要从石墨舟中取出硅片，随后装入丝印片盒中进行丝印工艺；石墨舟中所有硅片取出后，需要重新插入完成前道清洗工序的无反射膜硅片，这就是石墨舟人工装卸片。因石墨舟重、装片夹缝窄，所以人工装卸片劳动强度大，人工成本高，同时碎片率较高，生产效率提不上。
[0002]
发明内容
本发明的目的在于，针对现有技术的不同，提供了一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，实现石墨舟自动装卸片，提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。[0004] 本发明的技术方案为，一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，包括竖直放置的框架和用于暂存硅片的中转片盒，所述框架正面安装可带动片盒上下滑动的片盒升降机构，所述框架的一侧设有可带动中转片盒上下滑动的硅片中转机构，并在硅片中转机构的一侧设有可在片盒升降机构和硅片中转机构中水平传递片盒的硅片传递机构；所述片盒升降机构、硅片中转机构和硅片传递机构构成第一组升降传递装置，并在框架的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置；所述各组升降传递装置中的片盒升降机构、硅片中转机构和硅片传递机构的硅片中心位一致。
[0005] 所述片盒升降机构包括由电机驱动的输送机、检测片盒位置的A光电开关、支撑底板、升降气缸和用于固定片盒的定位气缸，所述A光电开关安装在片盒的下挡框上，支撑底板位于片盒底部并在升降气缸的作用下推动片盒升降，升降气缸和定位气缸分别置于片盒的底部和顶部。
[0006] 所述硅片中转机构包括由电机驱动的上下来回传动的传送带、中转片盒和检测硅片到位的B光电开关，所述传送带与中转片盒通过齿形板直接相连，在电机的驱动下中转片盒上下来回移动，B光电开关安装在中转片盒上板或下板边缘。[0007] 所述硅片传递机构包括电动滑台、支架和若干个吸盘，所述电动滑台通过支架固定，电动滑台上的取片板可在片盒升降机构的片盒与硅片中转机构的中转片盒之间水平快速来回滑动，所述吸盘成三角布局安装于取片板靠近片盒的一侧，用于硅片抓取。
[0008] 石墨舟自动装卸片需要完成的工序是既要将石墨舟中镀好减反射膜的硅片取出最终放入丝印用空片盒中，又要将卸完片的空石墨舟装满，因此整套升降传递机构中片盒升降机构、硅片中转机构、硅片传递机构各两套，分别安装于框架正反两侧面。
[0003]
片盒升降机构和硅片中转机构并立安装，两者垂直升降时方向相反；硅片传递机构固定于框架底板上，在片盒升降机构和硅片中转机构之间来回穿梭，水平传送硅片；升降
[0009]
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说 明 书
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动作由各自电机驱动完成，滑台则负责硅片水平传送。安装固定后三者的硅片中心位置一致。为对应石墨舟的自动装卸片，升降传递机构中片盒升降机构、硅片中转机构和硅片传递机构都是两套，分别位于框架正反两侧面，安装位置、固定方式一样。
[0010] 下面介绍所述用于石墨舟自动装卸片的升降传递机构的具体工艺流程。[0011] 清洗工序完成后传送过来的片盒由片盒升降机构中输送机接力输送，光电开关检测到位后，升降气缸将片盒顶起，定位气缸上下同时动作将片盒固定，做好片盒卸片准备。卸片时片盒升降机构按片盒间距逐步下降，并立的硅片中转机构则按中转片盒的间距逐步上升，与此同时硅片传递机构在两者之间水平来回传送，从片盒中逐一取片放入中转片盒暂存，完成片盒卸片。石墨舟自动装卸片设备的机械手则只需从中转片盒中取片进行石墨舟装片。以上是升降传递机构的片盒卸片，框架背面片盒装片时各部件动作一样，先后顺序相反，即机械手从石墨舟中取片放入中转片盒，随后硅片中转机构下降，片盒升降机构上升，硅片传递机构则水平来回传送完成片盒装片。两边动作可同时进行，提高设备生产效率。
[0012] 由以上可知，使用本发明的整套升降传递装置可快速、准确实现硅片从片盒卸出和装入片盒，PECVD工序后石墨舟无需人工装卸片，降低了劳动强度与人工成本，提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。附图说明
[0013]
图1为发明所述石墨舟自动装卸片的升降传递装置结构示意图； 图2为片盒升降机构所用片盒结构图； 图3为硅片中转机构中转片盒结构图；在上述附图中各序号分别表示：1-框架， 2-片盒升降机构， 3-输送机， 4-升降气缸，5-片盒， 6-定位气缸， 7-硅片中转机构，8-硅片传递机构， 9-滑台， 10-中转片盒， 11-硅片中转机构电机， 12-片盒升降机构电机。
具体实施方式
[0014] 如图1-图3所示，一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，包括竖直放置的框架1和用于暂存硅片的中转片盒10，所述框架1正面安装可带动片盒5上下滑动的片盒升降机构2，所述框架1的一侧设有可带动中转片盒10上下滑动的硅片中转机构7，并在硅片中转机构7的一侧设有可在片盒升降机构2和硅片中转机构7中水平传递片盒的硅片传递机构8；所述片盒升降机构2、硅片中转机构7和硅片传递机构8构成第一组升降传递装置，并在框架1的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置；所述各组升降传递装置中的片盒升降机构2、硅片中转机构7和硅片传递机构8的硅片中心位一致。[0015] 片盒升降机构包括由电机12驱动的输送机3、检测片盒5位置的A光电开关、支撑底板、升降气缸4和用于固定片盒5的定位气缸6，所述A光电开关安装在片盒5的下挡框上，支撑底板位于片盒5底部并在升降气缸4的作用下推动片盒5升降，升降气缸4和定位气缸6分别置于片盒5的底部和顶部。
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所述硅片中转机构包括由电机11驱动的上下来回传动的传送带、中转片盒10和
检测硅片到位的B光电开关，所述传送带与中转片盒10通过齿形板直接相连，在电机11的驱动下中转片盒10上下来回移动，B光电开关安装在中转片盒10上板或下板边缘。[0017] 所述硅片传递机构包括电动滑台9、支架和若干个吸盘，所述电动滑台9通过支架固定，电动滑台9上的取片板可在片盒升降机构2的片盒5与硅片中转机构7的中转片盒10之间水平快速来回滑动，所述吸盘成三角布局安装于取片板靠近片盒的一侧，用于硅片抓取。
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