专利名称：一种对称的MEMS加速度敏感芯片及其制造工艺专利类型：发明专利发明人：于连忠,孙晨,矣雷阳申请号：CN201410340002.5申请日：20140716公开号：CN105445495A公开日：20160330
摘要：一种对称的MEMS加速度敏感芯片，所述加速度敏感芯片包括上半部及下半部，所述上半部与所述下半部键合后形成框架整体以及设置在所述框架内的质量块整体；所述框架整体及所述质量块整体之间通过弹性梁相连接，所述质量块整体的上下两端分别形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架整体的上下两端分别形成有第二连接部；所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部；所述凹陷部上方设置有多组梳齿结构；每组梳齿结构包括从所述第一连接部延伸出的活动梳齿以及从第二连接部延伸出的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成差分检测电容。本加速度敏感芯片实现同时具有高对称性，大质量块，大电容，低阻尼的高灵敏度加速度计。
申请人：中国科学院地质与地球物理研究所
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路19号
国籍：CN
代理机构：北京金之桥知识产权代理有限公司
代理人：林建军
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