专利名称：带电粒子束装置以及程序专利类型：发明专利
发明人：山下贡,安藤彻,小西弥生,玉山尚太朗,牛尾奈绪子,高
野昌树
申请号：CN201380061917.6申请日：20131120公开号：CN104838466A公开日：20150812
摘要：在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。
申请人：株式会社日立高新技术
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京银龙知识产权代理有限公司
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