一种基板剥离装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种基板剥离装置专利类型：实用新型专利发明人：陈文源,张光日申请号：CN202020714396.7申请日：20200430公开号：CN212222414U公开日：20201225

摘要：本实用新型实施例公开了一种基板剥离装置。该基板剥离装置包括：移动平台、固定平台、移动滚轴、抬升滚轴和滚轴控制器；移动平台用于固定待剥离基板；固定平台用于固定产品基板；滚轴控制器用于向移动滚轴和抬升滚轴施加设定大小的力，并控制移动滚轴和抬升滚轴沿平行于产品基板表面的方向以及垂直于产品基板表面的方向运动，以在进行待剥离基板剥离时使抬升滚轴位于待剥离基板邻近产品基板的一侧，移动滚轴位于待剥离基板远离产品基板的一侧，并使抬升滚轴和移动滚轴以预设高度差沿平行于产品基板表面的方向运动，以使待剥离基板沿着移动滚轴的移动轨迹由产品基板上剥离。本实用新型实施例实现了精确的控制剥离支点的位置、剥离力度及剥离角度。

申请人：苏州华兴源创科技股份有限公司

地址：215000 江苏省苏州市苏州工业园区港田路青丘街青丘巷8号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

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