专利名称：晶圆直径测量装置专利类型：实用新型专利发明人：王江,刘瑞
申请号：CN200920300318.6申请日：20090120公开号：CN201352105Y公开日：20091125
摘要：本实用新型公开了一种晶圆直径测量装置。其解决了现有对晶圆产品进行测量时，操作麻烦、不便，所得测量数据准确性差的问题。结构为：一种晶圆直径测量装置，包括底座，底座上设有晶圆放置工位和与晶圆放置工位相对应的检具夹持工位，其特征在于，所述的晶圆放置工位为一根直立的顶杆，顶杆的端部为水平面并与所述检具夹持工位的高度相应。
申请人：浙江水晶光电科技股份有限公司
地址：318015 浙江省台州市椒江区星星电子产业园区A5号楼水晶光电科技
国籍：CN
代理机构：杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人：尉伟敏
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