专利名称:单晶硅铸锭的制造工艺和铸锭炉热场结构专利类型:发明专利
发明人:金越顺,朱卫峰,卫国军,袁华均,傅建根申请号:CN201110283625.X申请日:20110922公开号:CN102330143A公开日:20120125
摘要:单晶硅铸锭的制造工艺包括下述步骤:先在石英坩埚底部铺洒一层籽晶,上面放置多晶硅原料,并加热熔化;然后缓慢提升隔热笼,让热量从下面的热交换台散发出去,固液临界面的高度逐步上移,硅料向上长晶,最终形成固态单晶硅铸锭;保温隔热环条在加热、长晶过程中处于零位,在退火与冷却阶段则向下移动。单晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体,石英坩埚、顶部提升装置,隔热笼,加热装置,保温材料,交换台,底部提升装置;本发明的特点是:控制隔热笼的提升速度来完成硅材料长晶,通过升降保温隔热环条来保护固态籽晶和确保整个铸锭均匀退火。优点是:获得大容量的单晶硅铸锭,既增加了单晶硅单锭产量,又提高了硅片的光电转化效率。
申请人:浙江精功新能源有限公司
地址:312030 浙江省绍兴市绍兴县柯桥经济开发区鉴湖西路1809号
国籍:CN
代理机构:绍兴市越兴专利事务所
代理人:蒋卫东
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容